中圖儀器SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器是一種利用光的干涉原理來(lái)測(cè)量物體長(zhǎng)度、厚度,、形狀,、折射率等參數(shù)的儀器。具有測(cè)量精度高,、量程大,、速度快、靈敏度高,、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具?？蓪?shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割,、三坐標(biāo),、影像儀、精密測(cè)量,、自動(dòng)化,、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域,。

性能特點(diǎn)

1. 自動(dòng)采集數(shù)據(jù),，避免人為讀數(shù)誤差，精度高,；

2. 測(cè)量過(guò)程全自動(dòng)化,，效率高；

3. 可測(cè)量任意方向的回轉(zhuǎn)軸,，可測(cè)量任意角度間隔,，通用性強(qiáng)；

4. 可自動(dòng)生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù),，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算定位精度結(jié)果,，無(wú)需人工計(jì)算,。

產(chǎn)品功能

可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

導(dǎo)軌直線度檢測(cè)

對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

▲主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

技術(shù)規(guī)格

注意事項(xiàng)：

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量